Метод исследования технологического процесса производства интегральных микросхем, основанный на анализе кластеров состояний

vastutusandmed
Ю.П. Рятсеп, Дж.-Т.Э. Тээвет
ilmumiskoht
Таллин
ilmumisaasta
leheküljed
с. 39-43
ISSN
0136-3549
0320-3441
märkused
Библиогр. : 4 назв
Summary: A research method for integrated circuits production process, based on condition clusters analysis
teaduspublikatsioon
teaduspublikatsioon
klassifikaator
3.2
TTÜ struktuuriüksus
keel
vene