prindi

Применение анодного окисления при исследовании электрофизических характеристик полупроводниковых структур "кремний на изоляторе"

autor
Gavrilov, Aleksei
vastutusandmed
А.А.Гаврилов
allikas
Tallinna Tehnikaülikooli Toimetised
ajakirja aastakäik number kuu
707
ilmumisaasta
1990
leheküljed
lk. 53-59: ill
märksõna
pooljuhtstruktuurid
oksüdatsioon
anoodid
elektrilised omadused
räni
ISSN
0868-4081
märkused
Bibl. 7 nim
retsensioon
Abstract: A.Gavrilov. Application of anodic oxidation by the investigation of electrophysical characteristics of "silicon on insulator" structure
Kokkuvõte: Anoodoksüdeerimise kasutamine pooljuhtstruktuuride "räni dielektrikul" elektrofüüsikaliste karakteristikute uurimisel
keel
vene
Гаврилов А.А. Применение анодного окисления при исследовании электрофизических характеристик полупроводниковых структур "кремний на изоляторе" // Tallinna Tehnikaülikooli Toimetised (1990) 707, lk. 53-59: ill.