Применение анодного окисления при исследовании электрофизических характеристик полупроводниковых структур "кремний на изоляторе"
autor
vastutusandmed
А.А.Гаврилов
ajakirja aastakäik number kuu
707
ilmumisaasta
leheküljed
lk. 53-59: ill
ISSN
0868-4081
märkused
Bibl. 7 nim
retsensioon
Abstract: A.Gavrilov. Application of anodic oxidation by the investigation of electrophysical characteristics of "silicon on insulator" structure
Kokkuvõte: Anoodoksüdeerimise kasutamine pooljuhtstruktuuride "räni dielektrikul" elektrofüüsikaliste karakteristikute uurimisel
keel
vene
Гаврилов А.А. Применение анодного окисления при исследовании электрофизических характеристик полупроводниковых структур "кремний на изоляторе" // Tallinna Tehnikaülikooli Toimetised (1990) 707, lk. 53-59: ill.