Системное исследование влияния технологического микроклимата на качество интегральных микросхем
autor
Rätsep, Ülo
vastutusandmed
Ю.П. Рятсеп
allikas
Методы обработки и регистрации сигналов
ilmumiskoht
Таллин
kirjastus/väljaandja
Таллинский политехнический институт
ilmumisaasta
1981
leheküljed
с. 53-58 : илл
seeria-sari
Tallinna Polütehnilise Instituudi toimetised = Труды Таллинского политехнического института ; 521
Радиотехника ; 9
seeria variantpealkiri
TPI Toimetised ; 521
Труды ТПИ ; 521
leitav
https://www.ester.ee/record=b1507633*est
https://digikogu.taltech.ee/et/Item/b58bba27-822f-44c3-8387-50d8a26bb3d3
märksõna
integraallülitused
kvaliteet
tootmistehnoloogia
mikrokliima
TTÜ märksõna
Tallinna Tehnikaülikooli toimetised
ISSN
0136-3549
0320-3441
märkused
Библиогр. : 5 назв
Summary: Evaluation of influence of the plant environment parameters on the quality of integrated circuits
teaduspublikatsioon
teaduspublikatsioon
klassifikaator
3.2
TTÜ struktuuriüksus
raadiotehnika kateeder
keel
vene