Growth dynamics of nanocrystalline diamond films produced by microwave plasma enhanced chemical vapor deposition in methane/hydrogen/air mixture : scaling analysis of surface morphology

vastutusandmed
V. Podgursky, A. Bogatov, V. Sedov, I. Sildos, A. Mere, M. Viljus, J.G. Buijnsters, V. Ralchenko
kirjastus/väljaandja
ajakirja aastakäik number kuu
Vol. 58
ilmumisaasta
leheküljed
p. 172-179 : ill
ISSN
0925-9635
märkused
Bibliogr.: 26 ref
teaduspublikatsioon
teaduspublikatsioon
klassifikaator
1.1
kvartiil
Q1
keel
inglise