Испульсное легирование кремния в сильноточном газовом разряде
vastutusandmed
А. А. Гаврилов, Г. А. Качурин
allikas
Письма в Журнал технической физики
ajakirja aastakäik number kuu
т. 8, вып. 7
ilmumisaasta
leheküljed
с. 388-391
märksõna
ISSN
0330-0116
märkused
Библиогр. 6 назв.
TTÜ struktuuriüksus
keel
vene
Гаврилов, А., Качурин, Г. Испульсное легирование кремния в сильноточном газовом разряде // Письма в Журнал технической физики (1982) т. 8, вып. 7, с. 388-391.