Способ химической пульверизации при изготовлении тонких пленок
autor
vastutusandmed
Л.И. Тюрн, Э.К. Рейтер
ilmumiskoht
Таллин
kirjastus/väljaandja
ilmumisaasta
leheküljed
с. 40-43 ил
seeria-sari
seeria variantpealkiri
leitav
ISSN
0136-3549
0136-3581
märkused
Библиогр. : 4 назв
Abstract: A method for chemically sprayer thin film
teaduspublikatsioon
teaduspublikatsioon
TTÜ struktuuriüksus
keel
vene
märksõna
TTÜ märksõna
klassifikaator
Тюрн, Л.И., Рейтер, Э.К. Способ химической пульверизации при изготовлении тонких пленок // Физическая химия соединений АIIВVI. Таллин : Таллинский политехнический институт, 1987. с. 40-43 ил. (Tallinna Polütehnilise Instituudi toimetised = Труды Таллинского политехнического института ; 652, Полупроводниковые материалы ; 8).