Способ химической пульверизации при изготовлении тонких пленок
autor
ilmumiskoht
Таллин
kirjastus/väljaandja
ilmumisaasta
leheküljed
с. 40-43
seeria-sari
seeria variantpealkiri
TPI Toimetised ; 652
Труды ТПИ ; 652
märkused
Библиогр. : 4 назв
keel
vene
Тюрн, Л.И., Рейтер, Э.К. Способ химической пульверизации при изготовлении тонких пленок // Физическая химия соединений А//II//В//VI//. Таллин : Таллинский политехнический институт, 1987. с. 40-43. (Tallinna Polütehnilise Instituudi toimetised = Труды Таллинского политехнического института ; 652, Полупроводниковые материалы ; 8).