Contact manufacturing technologies for wide band-gap semiconductor materials (invited)
autor
Rang, Toomas
vastutusandmed
T.Rang
allikas
BEC'98 : the 6th Biennial Conference on Electronics and Microsystems Technology, October 7-9, 1998, Tallinn, Estonia : proceedings
ilmumiskoht
[Tallinn]
ilmumisaasta
1998
leheküljed
p. 17-28: ill
märksõna
pooljuhtmaterjalid
elektrikontaktid
liidesed
ränikarbiid
tootmistehnoloogia
ISBN
9985-59-081-3
märkused
Bibl. 90 ref
keel
inglise