Экспериментальное исследование статики температурных полей в горизонтальной реакционной камере эпитаксиального наращивания
autor
vastutusandmed
А.А. Аннус, У.П. Верги, Э.Х. Пинт
ilmumiskoht
Москва
kirjastus/väljaandja
ilmumisaasta
leheküljed
с. 39-43
seeria variantpealkiri
Сборник научно-технических статей (Elektrotehnika Teadusliku Uurimise Instituut) ; вып. 14
TTÜ struktuuriüksus
keel
vene
Аннус, А., Верги, У., Пинт, Э. Экспериментальное исследование статики температурных полей в горизонтальной реакционной камере эпитаксиального наращивания // Автоматика и вычислительная техника : [сборник статей]. Москва : Энергия, 1971. с. 39-43. (Сборник научно-технических статей / Научно-исследовательский и проектно-технологический институт систем планирования и управления в электропромышленности
(НИПТИ) ; вып. 14).