Система контроля микроклимата в производстве интегральных схем
autor
vastutusandmed
Э. А. Хансен, М. Э. Пуусепп
ajakirja aastakäik number kuu
2 (4)
ilmumisaasta
leheküljed
с. 88-92
keel
vene
TTÜ struktuuriüksus
Хансен, Э., Пуусепп, М. Система контроля микроклимата в производстве интегральных схем // Электронная промышленность : ЭП : научно-технический сборник (1971) 2 (4), с. 88-92.