Review article : recommended reading list of early publications on atomic layer deposition-outcome of the "Virtual Project on the History of ALD"
autor
vastutusandmed
Esko Ahvenniemi, Andrew R. Akbashev, Saima Ali, Mikhael Bechelany, Maria Berdova, Stefan Boyadjiev, David C. Cameron, Rong Chen, Mikhail Chubarov, Veronique Cremers, Anjana Devi, Viktor Drozd, Liliya Elnikova, Gloria Gottardi, Kestutis Grigoras, Dennis M. Hausmann, Cheol Seong Hwang, Shih-Hui Jen, Tanja Kallio, Jaana Kanervo, Ivan Khmelnitskiy, Do Han Kim, Lev Klibanov, Yury Koshtyal, A. Outi, I. Krause, Jakob Kuhs, Irina Kärkkänen, Marja-Leena Kääriäinen, Tommi Kääriäinen, Luca Lamagna, Adam A. Łapicki, Markku Leskelä, Harri Lipsanen, Jussi Lyytinen, Anatoly Malkov and Anatoly Malygin, Abdelkader Mennad, Christian Militzer, Jyrki Molarius, Małgorzata Norek, Çağla Özgit-Akgün, Mikhail Panov, Henrik Pedersen, Fabien Piallat, Georgi Popov, Riikka L. Puurunen, Geert Rampelberg, Robin H.A. Ras, Erwan Rauwel, Fred Roozeboom, Timo Sajavaara, Hossein Salami, Hele Savin, Nathanaelle Schneider, Thomas E. Seidel, Jonas Sundqvist, Dmitry B. Suyatin, Tobias Törndahl, J. Ruud van Ommen, Claudia Wiemer, Oili M.E. Ylivaara, Oksana Yurkevich
allikas
Journal of vacuum science & technology A : vacuum, surfaces, and films
kirjastus/väljaandja
AVS science and technology society
ajakirja aastakäik number kuu
vol. 35, 1
ilmumisaasta
leheküljed
p. 010801-1 - 010801-13
märksõna
vormimärksõna
ISSN
0734-2101
märkused
Bibliogr.: 61 ref
Open Access
Open Access
teaduspublikatsioon
teaduspublikatsioon
klassifikaator
kategooria (üld)
kategooria (alam)
kvartiil
TTÜ struktuuriüksus
keel
inglise
Ahvenniemi, E., Akbashev, A.R., Ali, S., Rauwel, E. et al. Review article : recommended reading list of early publications on atomic layer deposition-outcome of the "Virtual Project on the History of ALD" // Journal of vacuum science & technology A : vacuum, surfaces, and films (2017) vol. 35, 1, p. 010801-1 - 010801-13.