Методы исследования исходных полупроводниковых материалов и эпитаксиальных структур
vastutusandmed
А. Л. Мере, А. А. Паат, Э. И. Рузалеп, Ю. Ф. Удер
allikas
Применение эпитаксиальной технологии в производстве силовых полупроводниковых приборов : сборник материалов Всесоюзного научно-технического семинара. Часть 2
ilmumiskoht
Таллин
kirjastus/väljaandja
ilmumisaasta
leheküljed
с. 173-180
konverentsi nimetus, aeg
Применение эпитаксиальной технологии в производстве силовых полупроводниковых приборов, 1978
konverentsi toimumispaik
Таллин
märkused
Библиогр. 8 назв.
TTÜ struktuuriüksus
keel
vene
Мере, А., Паат, А., Рузалеп, Э., Удер, Ю. Методы исследования исходных полупроводниковых материалов и эпитаксиальных структур // Применение эпитаксиальной технологии в производстве силовых полупроводниковых приборов : сборник материалов Всесоюзного научно-технического семинара. Часть 2. Таллин : ЭстНИИНТИ, 1978. с. 173-180.