Исследование возможности оценки и контроля влияния загрязненности атмосферы в полупроводниковом производстве [Текст] : Автореферат дис. на соискание ученой степени кандидата технических наук. 05.12.11
autor
vastutusandmed
Ээрик Антонович Хансен
dissertatsiooni liik
kandidaaditöö
ülikool/teadusasutus
Московский энергетический институт
Moskva Energeetikainstituut
ilmumiskoht
Москва
kirjastus/väljaandja
ilmumisaasta
asutuse kohta
Moskva Energeetikainstituut
vormimärksõna
märkused
Ээрик Антонович Хансен, 1928-1981
Kaitsmine: Московский энергетический институт = Moskva Energeetikainstituut 01.06.1973, kinnitatud 30.11.1973, tehnikakandidaat
keel
vene
Хансен, Э. Исследование возможности оценки и контроля влияния загрязненности атмосферы в полупроводниковом производстве [Текст] : Автореферат дис. на соискание ученой степени кандидата технических наук. 05.12.11. Москва : [б. и.], 1973.