prindi

Система контроля микроклимата в производстве интегральных схем

autor
Hansen, Eerik
Puusepp, Märt
vastutusandmed
Э. А. Хансен, М. Э. Пуусепп
allikas
Электронная промышленность : ЭП : научно-технический сборник
ajakirja aastakäik number kuu
2 (4)
ilmumisaasta
1971
leheküljed
с. 88-92
leitav
https://www.ester.ee/record=b1802011*est
märksõna
mikroskeemid
tootmine
mikrokliima
parameetrid
TTÜ struktuuriüksus
raadiotehnika kateeder
keel
vene
Хансен, Э., Пуусепп, М. Система контроля микроклимата в производстве интегральных схем // Электронная промышленность : ЭП : научно-технический сборник (1971) 2 (4), с. 88-92. https://www.ester.ee/record=b1802011*est