Отжиг имплантированных слоев кремния в плазме импульсного газового разряда
vastutusandmed
А. А. Гаврилов, Г. А. Качурин
ajakirja aastakäik number kuu
т. 15, вып. 6
ilmumisaasta
leheküljed
с.1232-1234
märksõna
ISSN
0015-3222
märkused
Библиогр. 5 назв.
TTÜ struktuuriüksus
keel
vene
Гаврилов, А., Качурин, Г. Отжиг имплантированных слоев кремния в плазме импульсного газового разряда // Физика и техника полупроводников = Physics and technics of semiconductors (1981) т. 15, вып. 6, с.1232-1234.