TalTech publikatsioonid
pealdis Гаврилов, А., Качурин, Г.
TTÜ struktuuriüksus füüsika kateeder
maakood ru
keel vene
autor Gavrilov, Aleksei
Katšurin, G.A.
pealkiri Отжиг имплантированных слоев кремния в плазме импульсного газового разряда
vastutusandmed А. А. Гаврилов, Г. А. Качурин
allikas Физика и техника полупроводников = Physics and technics of semiconductors
ajakirja aastakäik number kuu т. 15, вып. 6
ilmumisaasta 1981
leheküljed с.1232-1234
märksõna räni
pooljuhtide tehnoloogia
plasma
ISSN 0015-3222
märkused Библиогр. 5 назв.
url https://www.ester.ee/record=b1263919*est