full record print

Установка для многократного анодного окисления полупроводников

author
statement of authorship
А.А. Гаврилов
source
location of publication
Таллин
publisher
year of publication
pages
с. 73-78 : ил
series
series variant title
url
ISSN
0136-3549
0320-3395
notes
Библиогр. : 4 назв
Abstract: Apparatus for reiterative anodic oxidation of semiconductors
scientific publication
teaduspublikatsioon
TalTech department
language
vene
Гаврилов, А.А. Установка для многократного анодного окисления полупроводников // Электрофизические свойства полупроводниковых и диэлектрических материалов. Таллин : Таллинский политехнический институт, 1986. с. 73-78 : ил. (Tallinna Polütehnilise Instituudi toimetised = Труды Таллинского политехнического института ; 620, Полупроводниковые материалы ; 7). https://www.ester.ee/record=b1296001*est https://digikogu.taltech.ee/et/Item/65e24755-71eb-4a99-b9fe-e1308121ed89