Установка для многократного анодного окисления полупроводников
autor
vastutusandmed
А.А. Гаврилов
ilmumiskoht
Таллин
kirjastus/väljaandja
ilmumisaasta
leheküljed
с. 73-78 : ил
seeria-sari
seeria variantpealkiri
leitav
ISSN
0136-3549
0320-3395
märkused
Библиогр. : 4 назв
Abstract: Apparatus for reiterative anodic oxidation of semiconductors
teaduspublikatsioon
teaduspublikatsioon
TTÜ struktuuriüksus
keel
vene
märksõna
TTÜ märksõna
klassifikaator
Гаврилов, А.А. Установка для многократного анодного окисления полупроводников // Электрофизические свойства полупроводниковых и диэлектрических материалов. Таллин : Таллинский политехнический институт, 1986. с. 73-78 : ил. (Tallinna Polütehnilise Instituudi toimetised = Труды Таллинского политехнического института ; 620, Полупроводниковые материалы ; 7).