Изменение параметров интегральных схем при анализе в растровом электронном микроскопе
autor
vastutusandmed
Б. Мейлер
ilmumiskoht
Таллин
kirjastus/väljaandja
ilmumisaasta
leheküljed
с. 85-92 : ил
seeria-sari
seeria variantpealkiri
leitav
ISSN
0136-3549
0320-3395
märkused
Библиогр. : 8 назв
Abstract: The degradation of integrated circuits parameters during the analysis in the scanning electron micriscope
teaduspublikatsioon
teaduspublikatsioon
TTÜ struktuuriüksus
keel
vene
klassifikaator
Мейлер, Б.Л. Изменение параметров интегральных схем при анализе в растровом электронном микроскопе // Электрофизические свойства полупроводниковых и диэлектрических материалов. Таллин : Таллинский политехнический институт, 1986. с. 85-92 : ил. (Tallinna Polütehnilise Instituudi toimetised = Труды Таллинского политехнического института ; 620, Полупроводниковые материалы ; 7).