full record print

Изменение параметров интегральных схем при анализе в растровом электронном микроскопе

author
statement of authorship
Б. Мейлер
source
location of publication
Таллин
publisher
year of publication
pages
с. 85-92 : ил
series
series variant title
url
ISSN
0136-3549
0320-3395
notes
Библиогр. : 8 назв
Abstract: The degradation of integrated circuits parameters during the analysis in the scanning electron micriscope
scientific publication
teaduspublikatsioon
TalTech department
language
vene
Мейлер, Б.Л. Изменение параметров интегральных схем при анализе в растровом электронном микроскопе // Электрофизические свойства полупроводниковых и диэлектрических материалов. Таллин : Таллинский политехнический институт, 1986. с. 85-92 : ил. (Tallinna Polütehnilise Instituudi toimetised = Труды Таллинского политехнического института ; 620, Полупроводниковые материалы ; 7). https://www.ester.ee/record=b1296001*est https://digikogu.taltech.ee/et/Item/65e24755-71eb-4a99-b9fe-e1308121ed89