print

Изменение параметров интегральных схем при анализе в растровом электронном микроскопе

author
Meiler, Boriss
statement of authorship
Б. Мейлер
source
Электрофизические свойства полупроводниковых и диэлектрических материалов
location of publication
Таллин
publisher
Таллинский политехнический институт
year of publication
1986
pages
с. 85-92
series
Tallinna Polütehnilise Instituudi toimetised = Труды Таллинского политехнического института ; 620
Полупроводниковые материалы ; 7
series variant title
TPI Toimetised ; 620
Труды ТПИ ; 620
url
https://www.ester.ee/record=b1296001*est
subject term
integraallülitused
parameetrid
elektronmikroskoobid
lahused
analüüs
TTÜ subject term
Tallinna Tehnikaülikooli toimetised
notes
Библиогр. : 8 назв
Abstract: The degradation of integrated circuits parameters during the analysis in the scanning electron micriscope
TTÜ department
füüsika kateeder
language
vene
Мейлер, Б.Л. Изменение параметров интегральных схем при анализе в растровом электронном микроскопе // Электрофизические свойства полупроводниковых и диэлектрических материалов. Таллин : Таллинский политехнический институт, 1986. с. 85-92. (Tallinna Polütehnilise Instituudi toimetised = Труды Таллинского политехнического института ; 620, Полупроводниковые материалы ; 7). https://www.ester.ee/record=b1296001*est