Oluwabi, A.T., Acik, I.O., Katerski, A., Mere, A., Krunks, M.

prindi

Structural and electrical characterisation of high-k ZrO2 thin films deposited by chemical spray pyrolysis method

autor

Oluwabi, Abayomi Titilope

Oja Acik, Ilona

Katerski, Atanas

Mere, Arvo

Krunks, Malle

vastutusandmed

Abayomi T. Oluwabi, Ilona Oja Acik, Atanas Katerski, Arvo Mere, Malle Krunks

allikas

Thin Solid Films

kirjastus/väljaandja

Elsevier

ajakirja aastakäik number kuu

Vol. 662

ilmumisaasta

2018

leheküljed

p. 129 - 136

leitav

https://doi.org/10.1016/j.tsf.2018.07.035

märksõna

pihustamine

õhukesed kiled

dielektrilised omadused

oksiidid

võtmesõna

chemical spray pyrolysis

dielectric properties

high-k oxides

thin films

zirconium oxide

ISSN

0040-6090

märkused

Bibliogr.: 36 ref

teaduspublikatsioon

klassifikaator

1.1

Scopus

Journal metrics at Scopus

Article at Scopus

WOS

Journal metrics at WOS

Article at WOS

kategooria (üld)

Materjaliteadus

Füüsika ja astronoomia

kategooria (alam)

Materjaliteadus. Metallid ja sulamid

Füüsika ja astronoomia. Pinnad ja liidesed

Materjaliteadus. Pinnad, katted ja kiled

Materjaliteadus. Materjalide keemia

Materjaliteadus. Elektroonilised, optilised ja magnetilised materjalid

kvartiil

TTÜ struktuuriüksus

materjali- ja keskkonnatehnoloogia instituut

keel

inglise

Uurimisrühm

Õhukesekileliste energiamaterjalide teaduslabor, Keemiliste kiletehnoloogiate teaduslabor (kuni 28.02.2023)

Oluwabi, A.T., Acik, I.O., Katerski, A., Mere, A., Krunks, M. Structural and electrical characterisation of high-k ZrO2 thin films deposited by chemical spray pyrolysis method // Thin Solid Films (2018) Vol. 662, p. 129 - 136. https://doi.org/10.1016/j.tsf.2018.07.035