Наращивание поликристаллических слоев кремния на рельефную поверхность двуокиси кремния
author
statement of authorship
А.А. Паат, Э.П. Тимма, А.И. Тромбовецкий
location of publication
Таллин
publisher
year of publication
pages
с. 27-33 : илл
series
series variant title
url
subject term
TTÜ subject term
notes
Библиогр.: 8 назв
Zusammenfassung: Über Niederschlag von polykristallinem Silizium auf einer Siliziumdioxidschicht mit Rillenzeichnung
scientific publication
teaduspublikatsioon
classifier
3.2
TTÜ department
language
vene
Паат, А., Тимма, Э., Тромбовецкий, А. Наращивание поликристаллических слоев кремния на рельефную поверхность двуокиси кремния // Труды по физике : сборник статей. 6. Таллин : Таллинский политехнический институт, 1973. с. 27-33 : илл. (Tallinna Polütehnilise Instituudi toimetised = Труды Таллинского политехнического института ; 338, Труды по физике : сборник статей ; 6).