full record print

Наращивание поликристаллических слоев кремния на рельефную поверхность двуокиси кремния

author
Paat, Aadu
Timma, Enn
Trombovetski, A.
statement of authorship
А.А. Паат, Э.П. Тимма, А.И. Тромбовецкий
source
location of publication
Таллин
publisher
year of publication
pages
с. 27-33 : илл
series
series variant title
url
notes
Библиогр.: 8 назв
Zusammenfassung: Über Niederschlag von polykristallinem Silizium auf einer Siliziumdioxidschicht mit Rillenzeichnung
scientific publication
teaduspublikatsioon
TTÜ department
language
vene
Паат, А., Тимма, Э., Тромбовецкий, А. Наращивание поликристаллических слоев кремния на рельефную поверхность двуокиси кремния // Труды по физике : сборник статей. 6. Таллин : Таллинский политехнический институт, 1973. с. 27-33 : илл. (Tallinna Polütehnilise Instituudi toimetised = Труды Таллинского политехнического института ; 338, Труды по физике : сборник статей ; 6). https://www.ester.ee/record=b2190564*est https://digikogu.taltech.ee/et/Item/020d3bce-d60f-45bd-aa8f-4906f2c1d0d6