Наращивание поликристаллических слоев кремния на рельефную поверхность двуокиси кремния
autor
vastutusandmed
А.А. Паат, Э.П. Тимма, А.И. Тромбовецкий
ilmumiskoht
Таллин
kirjastus/väljaandja
ilmumisaasta
leheküljed
с. 27-33 : илл
seeria-sari
seeria variantpealkiri
leitav
märksõna
TTÜ märksõna
märkused
Библиогр.: 8 назв
Zusammenfassung: Über Niederschlag von polykristallinem Silizium auf einer Siliziumdioxidschicht mit Rillenzeichnung
teaduspublikatsioon
teaduspublikatsioon
klassifikaator
3.2
TTÜ struktuuriüksus
keel
vene
Паат, А., Тимма, Э., Тромбовецкий, А. Наращивание поликристаллических слоев кремния на рельефную поверхность двуокиси кремния // Труды по физике : сборник статей. 6. Таллин : Таллинский политехнический институт, 1973. с. 27-33 : илл. (Tallinna Polütehnilise Instituudi toimetised = Труды Таллинского политехнического института ; 338, Труды по физике : сборник статей ; 6).