Некоторые вопросы уменьшения влияния пыли в производстве полупроводниковых изделий
statement of authorship
Э.А. Хансен, М.Э. Пуусепп, Б.Я. Саар
location of publication
Таллин
publisher
year of publication
pages
с. 89-94 : илл
series
series variant title
url
subject term
TTÜ subject term
notes
Библиогр.: 6 назв
Zusammenfassung: Einige Fragen zur Verminderung des Staubeinflusses in der Halbleiterherstellung
scientific publication
teaduspublikatsioon
classifier
3.2
TTÜ department
language
vene
Хансен, Э., Пуусепп, М., Саар, Б. Некоторые вопросы уменьшения влияния пыли в производстве полупроводниковых изделий // Труды по электротехнике и автоматике : сборник статей. 8. Таллин : Таллинский политехнический институт, 1970. с. 89-94 : илл. (Tallinna Polütehnilise Instituudi toimetised = Труды Таллинского политехнического института. Серия А ; 291, Tallinna Polütehnilise Instituudi toimetised. Seeria A ; 291, Труды по электротехнике и автоматике : сборник статей ; 8).