Установка для многократного анодного окисления полупроводников
author
location of publication
Таллин
publisher
year of publication
pages
с. 73-78
series
series variant title
TPI Toimetised ; 620
Труды ТПИ ; 620
subject term
TTÜ subject term
notes
Библиогр. : 4 назв
language
vene
Гаврилов, А.А. Установка для многократного анодного окисления полупроводников // Электрофизические свойства полупроводниковых и диэлектрических материалов. Таллин : Таллинский политехнический институт, 1986. с. 73-78. (Tallinna Polütehnilise Instituudi toimetised = Труды Таллинского политехнического института ; 620, Полупроводниковые материалы ; 7).