prindi

Установка для многократного анодного окисления полупроводников

autor
Gavrilov, Aleksei
allikas
Электрофизические свойства полупроводниковых и диэлектрических материалов
ilmumiskoht
Таллин
kirjastus/väljaandja
Таллинский политехнический институт
ilmumisaasta
1986
leheküljed
с. 73-78
seeria-sari
Tallinna Polütehnilise Instituudi toimetised = Труды Таллинского политехнического института ; 620
Полупроводниковые материалы ; 7
seeria variantpealkiri
TPI Toimetised ; 620
Труды ТПИ ; 620
märksõna
pooljuhtseadised
oksüdatsioon
anoodid
TTÜ märksõna
Tallinna Tehnikaülikooli toimetised
märkused
Библиогр. : 4 назв
keel
vene
Гаврилов, А.А. Установка для многократного анодного окисления полупроводников // Электрофизические свойства полупроводниковых и диэлектрических материалов. Таллин : Таллинский политехнический институт, 1986. с. 73-78. (Tallinna Polütehnilise Instituudi toimetised = Труды Таллинского политехнического института ; 620, Полупроводниковые материалы ; 7).