Численное моделирование технологического процесса полупроводниковых приборов
author
statement of authorship
Т.Х. Ранг
location of publication
Таллин
publisher
year of publication
pages
с. 33-37
series
series variant title
url
ISSN
0136-3549
0134-3823
notes
Библиогр. : 5 назв
Summary: Numerical model for technological process of semiconductor devices
scientific publication
teaduspublikatsioon
TalTech department
language
vene
TalTech subject term
classifier
Ранг, Т.Х. Численное моделирование технологического процесса полупроводниковых приборов // Проблемы моделирования полупроводниковых структур и сложных схем на ЭВМ. Таллин : Таллинский политехнический институт, 1982. с. 33-37. (Tallinna Polütehnilise Instituudi toimetised = Труды Таллинского политехнического института ; 538, Электротехника и автоматика ; 21).