prindi

Численное моделирование технологического процесса полупроводниковых приборов

autor
Rang, Toomas
allikas
Проблемы моделирования полупроводниковых структур и сложных схем на ЭВМ
ilmumiskoht
Таллин
kirjastus/väljaandja
Таллинский политехнический институт
ilmumisaasta
1982
leheküljed
с. 33-37
seeria-sari
Tallinna Polütehnilise Instituudi toimetised = Труды Таллинского политехнического института ; 538
Электротехника и автоматика ; 21
seeria variantpealkiri
TPI Toimetised ; 538
Труды ТПИ ; 538
märksõna
pooljuhtseadised
tehnoloogia
protsessid
matemaatiline modelleerimine
TTÜ märksõna
Tallinna Tehnikaülikooli toimetised
märkused
Библиогр. : 5 назв
keel
vene
Ранг, Т.Х. Численное моделирование технологического процесса полупроводниковых приборов // Проблемы моделирования полупроводниковых структур и сложных схем на ЭВМ. Таллин : Таллинский политехнический институт, 1982. с. 33-37. (Tallinna Polütehnilise Instituudi toimetised = Труды Таллинского политехнического института ; 538, Электротехника и автоматика ; 21).