Применение численных моделей для усовершенствования технологии производства силовых полупроводниковых приборов
statement of authorship
Велмре, Э.Э., Удал, А.Э., Фрейдин, Б.П.
location of publication
Москва
publisher
year of publication
pages
с. 51-56
conference name, date
Современная технология производства приборов, средств автоматизации и систем управления, 1981
conference location
Москва
TTÜ department
language
vene
subject term
Велмре, Э., Удал, А., Фрейдин, Б. Применение численных моделей для усовершенствования технологии производства силовых полупроводниковых приборов // Системы автоматизированного проектирования изделий микроэлектроники, новые методы и технологии микроминиатюрных элементов : Сборник докладов постоянно действующего семинара "Современная технология производства приборов, средств автоматизации и систем управления". Москва : б.и., 1981. с. 51-56.