Применение численных моделей для усовершенствования технологии производства силовых полупроводниковых приборов
vastutusandmed
Велмре, Э.Э., Удал, А.Э., Фрейдин, Б.П.
ilmumiskoht
Москва
kirjastus/väljaandja
ilmumisaasta
leheküljed
с. 51-56
konverentsi nimetus, aeg
Современная технология производства приборов, средств автоматизации и систем управления, 1981
konverentsi toimumispaik
Москва
TTÜ struktuuriüksus
keel
vene
märksõna
Велмре, Э., Удал, А., Фрейдин, Б. Применение численных моделей для усовершенствования технологии производства силовых полупроводниковых приборов // Системы автоматизированного проектирования изделий микроэлектроники, новые методы и технологии микроминиатюрных элементов : Сборник докладов постоянно действующего семинара "Современная технология производства приборов, средств автоматизации и систем управления". Москва : б.и., 1981. с. 51-56.