Design and optimization of AlN based RF MEMS switches

vastutusandmed
Mehadi Hasan Ziko and Ants Koel
ajakirja aastakäik number kuu
vol. 362, 1
ilmumisaasta
leheküljed
012002 ; 9 p.: ill
konverentsi nimetus, aeg
International Conference on Smart Engineering Materials : ICSEM 2018 : March 7-9, 2018
konverentsi toimumispaik
Bucharest, Romania
ISSN
1757-8981
märkused
Bibliogr.: 11 ref
Open Access
Open Access
teaduspublikatsioon
teaduspublikatsioon
keel
inglise
Ziko, M.H., Koel, A. Design and optimization of AlN based RF MEMS switches // IOP conference series : materials science and engineering (2018) vol. 362, 1, 012002 ; 9 p.: ill. https://doi.org/10.1088/1757-899X/362/1/012002