Interaction between point defects, extended defects and impurities in the Si-SiO2 system during the process of its formation
autor
Kropman, Daniel
Kärner, T.
Abru, Uno
Ugaste, Ülo
Mellikov, Enn
Kauk, Marit
vastutusandmed
D.Kropman, T.Kärner, U.Abru, Ü.Ugaste, E.Mellikov, M.Kauk
allikas
Materials science and engineering : B
ajakirja aastakäik number kuu
114-115
ilmumisaasta
2004
leheküljed
p. 295-298 : ill
leitav
https://www.sciencedirect.com/science/article/abs/pii/S0921510704003459
märksõna
metallograafia
transmissioon
elektronmikroskoopia
integraallülitused
defektid
töökindlus
ISSN
0921-5107
märkused
Bibliogr.: 10 ref
keel
inglise