Kruusing, A., Leppävuori, S., Uusimäki, A., Uusimäki, M.

täiskirje prindi

Mask-defined abrasive-jet micromachining

autor

Kruusing, Arvi

Leppävuori, Seppo

Uusimäki, Antti

Uusimäki, M.

vastutusandmed

A. Kruusing, S. Leppävuori, A. Uusimäki, M. Uusimäki

allikas

MICRO SYSTEM Technologies 98 : 6th International Conference and Exhibition on Micro Electro, Opto, Mechanical Systems and Components : Potsdam, Germany, December 1-3, 1998

ilmumiskoht

Berlin

kirjastus/väljaandja

VDE Verlag

ilmumisaasta

1998

leheküljed

p. 673-675

keel

inglise

Kruusing, A., Leppävuori, S., Uusimäki, A., Uusimäki, M. Mask-defined abrasive-jet micromachining // MICRO SYSTEM Technologies 98 : 6th International Conference and Exhibition on Micro Electro, Opto, Mechanical Systems and Components : Potsdam, Germany, December 1-3, 1998. Berlin : VDE Verlag, 1998. p. 673-675.