Aristov, V.V., Dubnos, S.V., Dyachenko, R.Ya., Gaifullin, B.N., Matveev, V.N., Svintsov, A.A., Zaitsev, S.I.

täiskirje prindi

Creation of diffractive optical elements by one step e-beam lithography for optoelectronics and X-ray lithography

autor

Aristov, V.V.

Dubonos, S.V.

Dyachenko, R.Ya.

Gaifullin, B.N.

Matveev, V.N.

Svintsov, A.A.

Zaitsev, S.I.

vastutusandmed

V.V.Aristov, S.V.Dubonos, R.Ya.Dyachenko, B.N.Gaifullin, V.N.Matveev, A.A.Svintsov and S.I.Zaitsev

allikas

BEC'96 : the 5th Biennial Baltic Electronics Conference, October 7-11, 1996, Tallinn, Estonia : proceedings

ilmumiskoht

[Tallinn]

ilmumisaasta

1996

leheküljed

p. 483-486: ill

ISBN

9985-59-026-0

märkused

Bibl. 14 ref

keel

inglise

Märksõnad ja võtmesõnad

märksõna

optoelektroonika

röntgenlitograafia

optikaelemendid

difraktsioon

Aristov, V.V., Dubnos, S.V., Dyachenko, R.Ya., Gaifullin, B.N., Matveev, V.N., Svintsov, A.A., Zaitsev, S.I. Creation of diffractive optical elements by one step e-beam lithography for optoelectronics and X-ray lithography // BEC'96 : the 5th Biennial Baltic Electronics Conference, October 7-11, 1996, Tallinn, Estonia : proceedings. [Tallinn], 1996. p. 483-486: ill.