Dedicated to the memory of Prof. M. Sheinkman effect of ultrasonic treatment on the defect structure of the Si-SiO2 system

vastutusandmed
D. Kropman, S. Dolgov, P. Onufrijevs, E. Dauksta
allikas
Gettering and Defect Engineering in Semiconductor Technology XV
ilmumiskoht
[S.l.]
kirjastus/väljaandja
ilmumisaasta
leheküljed
p. 352-357 : ill
seeria-sari
Solid state phenomena ; 205-206
konverentsi nimetus, aeg
15th Gettering and Defect Engineering in Semiconductor Technology, GADEST 2013, 22-27 September 2013
konverentsi toimumispaik
Oxford, UK
kvartiil
Q3
ISSN
1012-0394
ISBN
978-303785824-0
märkused
Bibliogr.: 14 ref
teaduspublikatsioon
teaduspublikatsioon
klassifikaator
3.1
TTÜ struktuuriüksus
keel
inglise