Kruusing, A., Leppävuori, S., Uusimäki, A., Uusimäki, M.

täiskirje prindi

Rapid prototyping of silicon structures by aid of laser and abrasive-jet machining

autor

Kruusing, Arvi

Leppävuori, Seppo

Uusimäki, Antti

Uusimäki, M.

vastutusandmed

Arvi Krusing, Sepo Lepävuori, Antti Uusimäki, Mati Uusimäki

allikas

Design, Test and Microfabrication of MEMS and MOEMS : 30 March-1 April, 1999, Paris, France

ilmumiskoht

[S.l.]

kirjastus/väljaandja

SPIE

ilmumisaasta

1999

leheküljed

p. 870-878 : ill

seeria-sari

Proceedings of SPIE ; 3680, 2

ISSN

0277-786X

märkused

Bibliogr.: 35 ref

keel

inglise

Märksõnad ja võtmesõnad

võtmesõna

laser machining

abrasive-jet machining

silcon microstructures

Kruusing, A., Leppävuori, S., Uusimäki, A., Uusimäki, M. Rapid prototyping of silicon structures by aid of laser and abrasive-jet machining // Design, Test and Microfabrication of MEMS and MOEMS : 30 March-1 April, 1999, Paris, France. [S.l.] : SPIE, 1999. p. 870-878 : ill. (Proceedings of SPIE ; 3680, 2).