Alamgir, A., Bogatov, A., Yashin, M., Podgurski, V.

prindi

Mechanical and tribological properties of 100-nm thick alumina films prepared by atomic layer deposition on Si(100) substrates

autor

Alamgir, Asad

Bogatov, Andrei

Yashin, Maxim

Podgurski, Vitali

vastutusandmed

Asad Alamgir, Andrei Bogatov, Maxim Yashin, and Vitali Podgursky

allikas

Proceedings of the Estonian Academy of Sciences

kirjastus/väljaandja

Estonian Academy Publishers

ajakirja aastakäik number kuu

vol. 68, 2

ilmumisaasta

2019

leheküljed

p. 126-130 : ill

konverentsi nimetus, aeg

Modern Materials and Manufacturing 2019 (MMM 2019), April 24-26, 2019

konverentsi toimumispaik

Tallinn

leitav

https://doi.org/10.3176/proc.2019.2.01

http://www.kirj.ee/public/proceedings_pdf/2019/issue_2/proc-2019-2-126-130.pdf

märksõna

alumiiniumoksiid

õhukesed kiled

nanostruktuursed materjalid

mehaanilised omadused

deformatsioon

võtmesõna

nanoindentation

alumina oxide thin films

atomic layer deposition

nano-scratch

deformations

ISSN

1736-6046

märkused

Kokkuvõte: Si(100) substraatidele aatomkihtsadestamisel valmistatud 100 nm paksusega Al2O3kilede mehaanilised ja triboloogilised omadused

Bibliogr.: 13 ref

Open Access

teaduspublikatsioon

klassifikaator

1.1

Scopus

Journal metrics at Scopus

Article at Scopus

WOS

Journal metrics at WOS

Article at WOS

kategooria (üld)

Tehnika

kategooria (alam)

Tehnika. Üldine inseneriteadus

kvartiil

TTÜ struktuuriüksus

mehaanika ja tööstustehnika instituut

keel

inglise

Alamgir, A., Bogatov, A., Yashin, M., Podgurski, V. Mechanical and tribological properties of 100-nm thick alumina films prepared by atomic layer deposition on Si(100) substrates // Proceedings of the Estonian Academy of Sciences (2019) vol. 68, 2, p. 126-130 : ill. https://doi.org/10.3176/proc.2019.2.01 http://www.kirj.ee/public/proceedings_pdf/2019/issue_2/proc-2019-2-126-130.pdf