Diffusion welded contacts for silicon semiconductor devices

vastutusandmed
O. Korolkov, T. Rang
ilmumiskoht
Dresden
kirjastus/väljaandja
ilmumisaasta
leheküljed
p. 1035-1037
keel
inglise
Korolkov, O., Rang, T. Diffusion welded contacts for silicon semiconductor devices // Proceedings of the International Conference and Exhibition Micro Materials : MicroMat '97, April 16-18, 1997, Berlin, Germany. Dresden : DDP Goldenbogen, 1997. p. 1035-1037.