prindi

Mask-defined abrasive-jet micromachining

autor
Kruusing, Arvi
Leppävuori, Seppo
Uusimäki, Antti
Uusimäki, M.
vastutusandmed
A. Kruusing, S. Leppävuori, A. Uusimäki, M. Uusimäki
allikas
MICRO SYSTEM Technologies 98 : 6th International Conference and Exhibition on Micro Electro, Opto, Mechanical Systems and Components : Potsdam, Germany, December 1-3, 1998
ilmumiskoht
Berlin
kirjastus/väljaandja
VDE Verlag GMBH
ilmumisaasta
1998
leheküljed
p. 673-675
keel
inglise
Kruusing, A., Leppävuori, S., Uusimäki, A., Uusimäki, M. Mask-defined abrasive-jet micromachining // MICRO SYSTEM Technologies 98 : 6th International Conference and Exhibition on Micro Electro, Opto, Mechanical Systems and Components : Potsdam, Germany, December 1-3, 1998. Berlin : VDE Verlag GMBH, 1998. p. 673-675.