Качество деионизированной воды, используемой в производстве микросхем
autor
vastutusandmed
М. Э. Пуусепп, М. И. Фрид, Э. А. Хансен, Х. Х. Хёдреярв
ajakirja aastakäik number kuu
4 (64)
ilmumisaasta
leheküljed
с. 75-76
märksõna
ISSN
0207-6357
märkused
Библиогр. 3 назв.
TTÜ struktuuriüksus
keel
vene
Пуусепп, М., Фрид, М., Хансен, Э., Хёдреярв, Х. Качество деионизированной воды, используемой в производстве микросхем // Электронная промышленность : ЭП : научно-технический сборник (1978) 4 (64), с. 75-76.