Влияние технологического микроклимата на качество изделий микроэлектроники
autor
vastutusandmed
Кайпоксин, Л., Пуусеп, Ю., Рятсеп, Ю., Тээвет, Дж.-Т.
kirjastus/väljaandja
ajakirja aastakäik number kuu
2
ilmumisaasta
leheküljed
с. 76-79 : илл
märksõna
ISSN
0207-6357
märkused
Библиогр.: 2 назв.
TTÜ struktuuriüksus
keel
vene
Кайпоксин, Л., Пуусеп, Ю., Рятсеп, Ю., Тээвет, Дж.-Т. Влияние технологического микроклимата на качество изделий микроэлектроники // Электронная промышленность : ЭП : научно-технический сборник (1983) 2, с. 76-79 : илл.