Silicon integrated circuit fabrication process modeling and simulation
vastutusandmed
T. Rang, K. Tarnay, J. Mizsei, P. Baji, B. Kovacs, G. Drozdy
kirjastus/väljaandja
ajakirja aastakäik number kuu
vol. 24, no. 1-2
ilmumisaasta
leheküljed
p. 109-113
ISSN
0324-6000
TTÜ struktuuriüksus
keel
inglise
Rang, T., Tarnay, K., Mizsei, J. et al. Silicon integrated circuit fabrication process modeling and simulation // Periodica polytechnica. Electrical engineering = Электротехника (1980) vol. 24, no. 1-2, p. 109-113.