Structural and electrical characterisation of high-k ZrO2 thin films deposited by chemical spray pyrolysis method
vastutusandmed
Abayomi T. Oluwabi, Ilona Oja Acik, Atanas Katerski, Arvo Mere, Malle Krunks
allikas
kirjastus/väljaandja
ajakirja aastakäik number kuu
Vol. 662
ilmumisaasta
leheküljed
p. 129 - 136
ISSN
0040-6090
märkused
Bibliogr.: 36 ref
teaduspublikatsioon
teaduspublikatsioon
keel
inglise
võtmesõna
klassifikaator
kvartiil
kategooria (üld)
TTÜ struktuuriüksus
Oluwabi, A.T., Acik, I.O., Katerski, A., Mere, A., Krunks, M. Structural and electrical characterisation of high-k ZrO2 thin films deposited by chemical spray pyrolysis method // Thin Solid Films (2018) Vol. 662, p. 129 - 136.