Численное моделирование технологического процесса полупроводниковых приборов
autor
vastutusandmed
Т.Х. Ранг
ilmumiskoht
Таллин
kirjastus/väljaandja
ilmumisaasta
leheküljed
с. 33-37
seeria-sari
seeria variantpealkiri
leitav
ISSN
0136-3549
0134-3823
märkused
Библиогр. : 5 назв
Summary: Numerical model for technological process of semiconductor devices
teaduspublikatsioon
teaduspublikatsioon
TTÜ struktuuriüksus
keel
vene
klassifikaator
Ранг, Т.Х. Численное моделирование технологического процесса полупроводниковых приборов // Проблемы моделирования полупроводниковых структур и сложных схем на ЭВМ. Таллин : Таллинский политехнический институт, 1982. с. 33-37. (Tallinna Polütehnilise Instituudi toimetised = Труды Таллинского политехнического института ; 538, Электротехника и автоматика ; 21).