Некоторые вопросы уменьшения влияния пыли в производстве полупроводниковых изделий
statement of authorship
Э.А. Хансен, М.Э. Пуусепп, Б.Я. Саар
location of publication
Таллин
publisher
year of publication
pages
с. 89-94 : илл
series
series variant title
url
notes
Библиогр.: 6 назв
Zusammenfassung: Einige Fragen zur Verminderung des Staubeinflusses in der Halbleiterherstellung
scientific publication
teaduspublikatsioon
TTÜ department
language
vene
subject term
TTÜ subject term
classifier
3.2
Хансен, Э., Пуусепп, М., Саар, Б. Некоторые вопросы уменьшения влияния пыли в производстве полупроводниковых изделий // Труды по электротехнике и автоматике : сборник статей. 8. Таллин : Таллинский политехнический институт, 1970. с. 89-94 : илл. (Tallinna Polütehnilise Instituudi toimetised = Труды Таллинского политехнического института. Серия А ; 291, Tallinna Polütehnilise Instituudi toimetised. Seeria A ; 291, Труды по электротехнике и автоматике : сборник статей ; 8).