prindi

Некоторые вопросы уменьшения влияния пыли в производстве полупроводниковых изделий

autor
Hansen, Eerik
Puusepp, Märt
Saar, Bernhard
vastutusandmed
Э.А. Хансен, М.Э. Пуусепп, Б.Я. Саар
allikas
Труды по электротехнике и автоматике : сборник статей. 8
ilmumiskoht
Таллин
kirjastus/väljaandja
Таллинский политехнический институт
ilmumisaasta
1970
leheküljed
с. 89-94 : илл
seeria-sari
Tallinna Polütehnilise Instituudi toimetised = Труды Таллинского политехнического института. Серия А ; 291
Tallinna Polütehnilise Instituudi toimetised. Seeria A ; 291
Труды по электротехнике и автоматике : сборник статей ; 8
seeria variantpealkiri
pealkiri seeria-sari
pealkiri seeria-sari
leitav
https://www.ester.ee/record=b2189971*est
https://digikogu.taltech.ee/et/Item/f65c4042-b55d-4b5b-b9b9-8a70cac2957d/
märksõna
pooljuhid
tootmine
tolm
mõjud
vähendamine
TTÜ märksõna
Tallinna Tehnikaülikooli toimetised
märkused
Библиогр.: 6 назв
Zusammenfassung: Einige Fragen zur Verminderung des Staubeinflusses in der Halbleiterherstellung
teaduspublikatsioon
teaduspublikatsioon
klassifikaator
3.2
TTÜ struktuuriüksus
raadiotehnika kateeder
peenmehaanika kateeder
keel
vene
Хансен, Э., Пуусепп, М., Саар, Б. Некоторые вопросы уменьшения влияния пыли в производстве полупроводниковых изделий // Труды по электротехнике и автоматике : сборник статей. 8. Таллин : Таллинский политехнический институт, 1970. с. 89-94 : илл. (Tallinna Polütehnilise Instituudi toimetised = Труды Таллинского политехнического института. Серия А ; 291, Tallinna Polütehnilise Instituudi toimetised. Seeria A ; 291, Труды по электротехнике и автоматике : сборник статей ; 8). https://www.ester.ee/record=b2189971*est https://digikogu.taltech.ee/et/Item/f65c4042-b55d-4b5b-b9b9-8a70cac2957d/