Некоторые вопросы уменьшения влияния пыли в производстве полупроводниковых изделий
vastutusandmed
Э.А. Хансен, М.Э. Пуусепп, Б.Я. Саар
ilmumiskoht
Таллин
kirjastus/väljaandja
ilmumisaasta
leheküljed
с. 89-94 : илл
seeria-sari
seeria variantpealkiri
leitav
märkused
Библиогр.: 6 назв
Zusammenfassung: Einige Fragen zur Verminderung des Staubeinflusses in der Halbleiterherstellung
teaduspublikatsioon
teaduspublikatsioon
TTÜ struktuuriüksus
keel
vene
märksõna
TTÜ märksõna
klassifikaator
3.2
Хансен, Э., Пуусепп, М., Саар, Б. Некоторые вопросы уменьшения влияния пыли в производстве полупроводниковых изделий // Труды по электротехнике и автоматике : сборник статей. 8. Таллин : Таллинский политехнический институт, 1970. с. 89-94 : илл. (Tallinna Polütehnilise Instituudi toimetised = Труды Таллинского политехнического института. Серия А ; 291, Tallinna Polütehnilise Instituudi toimetised. Seeria A ; 291, Труды по электротехнике и автоматике : сборник статей ; 8).