täiskirje prindi

Comparative study of siox layers deposition using thermal and uv-assisted curing of perhydropolysilazane

autor
vastutusandmed
Elizaveta Shmagina, Sergei Bereznev
allikas
ilmumiskoht
Tartu
kirjastus/väljaandja
ilmumisaasta
leheküljed
P 50
konverentsi nimetus, aeg
GSFMT Scientific Conference 2021, June 14-15, 2021
konverentsi toimumispaik
Tartu
leitav
Open Access
Open Access
teaduspublikatsioon
teaduspublikatsioon
TTÜ struktuuriüksus
keel
inglise
Shmagina, E., Bereznev, S. Comparative study of siox layers deposition using thermal and uv-assisted curing of perhydropolysilazane // GSFMT Scientific Conference 2021 : Tartu, June 14-15, 2021 : abstracts. Tartu : Tartu Ülikool, 2021. P 50. https://fmtdk.ut.ee/wp-content/uploads/2021/06/GSFMT_abstractbook_2021.pdf