Oluwabi, A.T., Acik, I.O., Katerski, A., Mere, A., Krunks, M.

prindi

Structural and electrical characterisation of high-k ZrO2 thin films deposited by chemical spray pyrolysis method

autor

Oluwabi, Abayomi Titilope

Acik, Ilona Oja

Katerski, Atanas

Mere, Arvo

Krunks, Malle

vastutusandmed

Abayomi T. Oluwabi, Ilona Oja Acik, Atanas Katerski, Arvo Mere, Malle Krunks

allikas

Thin Solid Films

kirjastus/väljaandja

Elsevier B.V.

ajakirja aastakäik number kuu

Vol. 662

ilmumisaasta

2018

leheküljed

p. 129 - 136

leitav

https://doi.org/10.1016/j.tsf.2018.07.035

märksõna

pihustamine

õhukesed kiled

dielektrilised omadused

oksiidid

võtmesõna

chemical spray pyrolysis

dielectric properties

high-k oxides

thin films

zirconium oxide

ISSN

0040-6090

märkused

Bibliogr.: 36 ref

teaduspublikatsioon

klassifikaator

1.1

Scopus

Journal metrics at Scopus

Article at Scopus

WOS

Journal metrics at WOS

Article at WOS

kategooria (üld)

Materials science

Physics and astronomy

kategooria (alam)

Materials science. Metals and alloys

Physics and astronomy. Surfaces and interfaces

Materials science. Surfaces, coatings and films

Materials science. Materials chemistry

Materials science. Electronic, optical and magnetic materials

kvartiil

TTÜ struktuuriüksus

materjali- ja keskkonnatehnoloogia instituut

keel

inglise

Oluwabi, A.T., Acik, I.O., Katerski, A., Mere, A., Krunks, M. Structural and electrical characterisation of high-k ZrO2 thin films deposited by chemical spray pyrolysis method // Thin Solid Films (2018) Vol. 662, p. 129 - 136. https://doi.org/10.1016/j.tsf.2018.07.035