Mechanical properties of aluminum, zirconium, hafnium and tantalum oxides and their nanolaminates grown by atomic layer deposition
autor
vastutusandmed
Taivo Jõgiaas, Roberts Zabels, Aile Tamm, Maido Merisalu, Irina Hussainova, ... [et al.]
allikas
kirjastus/väljaandja
ajakirja aastakäik number kuu
Vol. 282
ilmumisaasta
leheküljed
p. 36-42 : ill
ISSN
0257-8972
märkused
Bibliogr.: 30 ref
teaduspublikatsioon
teaduspublikatsioon
keel
inglise
võtmesõna
instrumented nano-indentation
metal oxide nano-laminates
klassifikaator
kvartiil
TTÜ struktuuriüksus
Jõgiaas, T., Zabels, R., Tamm, A., Merisalu, M., Hussainova, I. et al. Mechanical properties of aluminum, zirconium, hafnium and tantalum oxides and their nanolaminates grown by atomic layer deposition // Surface and coatings technology (2015) Vol. 282, p. 36-42 : ill.