prindi

Исследование влияния технологического микроклимата в производстве интегральных микросхем : автореферат ... кандидата технических наук (05.12.18)

autor
Rätsep, Ülo
juhendaja
Puusepp, Märt
vastutusandmed
Юло Петерович Рятсеп ; [научный руководитель: М.Э. Пуусепп] ; Таганрогский радиотехнический институт
dissertatsiooni liik
kandidaaditöö
ülikool/teadusasutus
Таганрогский радиотехнический институт
ilmumiskoht
Таганрог
kirjastus/väljaandja
[Таганрогский радиотехнический институт]
ilmumisaasta
1983
leheküljed
23 c. : ил
märksõna
elektroonikatööstus
integraallülitused
tootmistehnoloogia
tööstuslikud protsessid
tööruumid
mikrokliima
sisekliima
puhtus
asutuse kohta
Таганрогский радиотехнический институт им. В.Д. Калмыкова
vormimärksõna
autoreferaadid
märkused
Рятсеп, Юло Петерович, 1943-1994
[работа выполнена на кафедре радиотехники ТПИ]
Библиогр. с. 22-23
Ametialaseks kasutamiseks
Kaitsmine: Таганрогский радиотехнический институт им. В.Д. Калмыкова = Taganrogi Raadiotehnika Instituut 5.12.1983 ; kinnitatud ; tehnikakandidaat
leitav
https://www.ester.ee/record=b1522476*est
TTÜ struktuuriüksus
raadiotehnika kateeder
keel
vene
Рятсеп, Ю. Исследование влияния технологического микроклимата в производстве интегральных микросхем : автореферат ... кандидата технических наук (05.12.18). Таганрог : [Таганрогский радиотехнический институт], 1983. 23 c. : ил. https://www.ester.ee/record=b1522476*est