Влияние облучения низкоэнергетическими электронами в растровом электронном микроскопе на параметры полупроводниковых приборов
autor
vastutusandmed
Б. Мейлер, Д. Кропман, А. Левченкова
allikas
Микроэлектроника
kirjastus/väljaandja
ajakirja aastakäik number kuu
Т. 16, 2
ilmumisaasta
leheküljed
с. 165-169 : илл
ISSN
0544-1269
märkused
Библиогр.: 9 назв
keel
vene
TTÜ struktuuriüksus
Мейлер, Б., Кропман, Д., Левченкова, А. Влияние облучения низкоэнергетическими электронами в растровом электронном микроскопе на параметры полупроводниковых приборов // Микроэлектроника (1987) Т. 16, 2, с. 165-169 : илл.